Basisprincipes van het scannen van elektronenmicroscoop
De elektronenstraal die door het scanning elektronenmicroscoop elektronenkanon wordt uitgezonden, wordt scherpgesteld en gecondenseerd tot een puntlichtbron; de puntlichtbron vormt een hoogenergetische elektronenbundel onder een versnellende spanning; de hoogenergetische elektronenbundel wordt door twee elektromagnetische lenzen in een lichtvlek met een kleine diameter gericht en gaat door de laatste Na een elektromagnetische lens met een scanningspoel bombardeert de elektronenstraal het monsteroppervlak punt voor punt op een rasterachtige scanmanieren en prikkelt tegelijkertijd elektronische signalen van verschillende diepten.